구분 항목 |
TD |
PCVD |
PVD |
CVD | |
명 칭 |
Toyota Defusion Coating Process |
Plasma Chemical Vapor Deposition |
Physical Vapor Deposition |
Chemical Vapor Deposition | |
코팅 물질 |
VC, NbC, CrC등이 있으나 국내에서는 VC가 주종임. |
TiC, TiN, TiCN, DLC, TiAlN 등 |
TiN, TiC, TiCN 등이 있으나 TiN이 주종임. |
TiN, TiC, TiCN, Al2O3 등 | |
두께 |
8 ~ 10㎛ |
3 ~ 5 ㎛ |
3 ~ 5 ㎛ |
3 ~ 5 ㎛ | |
색상 |
밝은 금속광택 |
TiN : 황금색 TiC : 회색 TiCN : 붉은색이 도는 회색 DLC : 흑색 |
TiN : 황금색 TiC : 회색 TiCN : 붉은색이 도는 회색 |
TiN : 황금색 TiC : 회색 TiCN : 붉은색이 도는 회색 | |
경도 |
VC : HV 3000내외 NbC : 2400내외 CrC : 1800내외 |
TiN : 1800 ~ 2100 TiC : 2900 ~ 3200 TiCN : 2800내외 TiAlN : 3000내외 DLC : 4,000 ~ 6,000 |
TiN : 1800 ~ 2100 TiC : 2900 ~ 3200 TiCN : 2800내외 TiAlN : 3000내외 |
TiN : 1800 ~ 2100 TiC : 2900 ~ 3200 TiCN : 2800내외 | |
Coating 방법 |
고온으로 가열된 Salt에 반응물질을 넣고 탄소성분이 있는 금속을 Salt에 담그면 금속에 있는 탄소성분과 반응물질이 표면에서 반응하여 탄화물을 형성시킴. |
진공에서 plasma를 형성시키고 반응물질을 가스상태로 공급하면 반응물질이 plasma화 되어 해리 및 이온화 되고 전압차에 의해 피처리재에 부착되면서 코팅됨 |
금속의 증기압을 이용하거나 이온플레이팅, 스퍼터링등의 여러 가지 방법에 의해 금속을 증발시킨 후 이를 피처리재에 증착시켜 코팅, 최근에는 플라즈마중에서 화학반응을 할 수 있도록하여 금속 화합물을 증착시킴. |
반응물질을 가스상태로 공급하고 고온으로 가열시키면 금속 화합물이 형성되며 피처리재에 증착되면서 코팅이 됨. | |
열처리 |
고온에서 코팅한 후 냉각과정에서 직접 열처리가 되므로 별도의 열처리가 필요없슴. |
PCVD처리 전에 열처리하되 반드시 고온Tempering을 해야 함. |
PVD처리 전에 열처리하되 반드시 고온Tempering을 해야 함. |
CVD후 재 열처리 함. | |
장점 |
①코팅층의 밀착력이 우수. ②VC층의 마찰계수가 작으므로 윤활성 우수 ③별도의 열처리가 필요없슴. ④좁은 구멍에도 코팅이 가능함. |
①저온에서 처리되므로 변형이 없슴 ②처리공정에 소요되는 시간이 짧다. ③PVD보다 층의 밀착력이 우수. ④다양한 코팅층 제공. |
①저온에서 처리되므로 변형이 없슴 ②처리공정에 소요되는 시간이 짧다. |
①코팅층의 밀착력이 우수 ②섬유 등에의 피복이 가능하다. ③층의 조직을 비정질,다결정질등으로 얻을 수 있다. | |
단점 |
①변형이 있다. 따라서 정밀금형에는 적용이 곤란하다. ②처리시간이 길다. ③탄소를 함유한 금속에만 처리가 가능하다. |
①코팅층의 밀착력이 약함. ②고가의 진공설비가 필요. ③피처리물의 크기제한. ④좁은 구멍에는 코팅이 곤란함. |
①코팅층의 밀착력이 약함. ②고가의 진공설비가 필요. ③피처리물의 크기제한. ④좁은 구멍에는 코팅이 곤란함. |
①변형이 있다. 따라서 정밀금형에는 적용이 곤란하다. ②CVD 후 재열처리가 필요하다. ③처리시간이 길다. | |
Coating 방법 |
고온으로 가열된 Salt에 반응물질을 넣고 탄소성분이 있는 금속을 Salt에 담그면 금속에 있는 탄소성분과 반응물질이 표면에서 반응하여 탄화물을 형성시킴. |
진공에서 plasma를 형성시키고 반응물질을 가스상태로 공급하면 반응물질이 plasma화 되어 해리 및 이온화 되고 전압차에 의해 피처리재에 부착되면서 코팅됨 |
금속의 증기압을 이용하거나 이온플레이팅, 스퍼터링등의 여러 가지 방법에 의해 금속을 증발시킨 후 이를 피처리재에 증착시켜 코팅, 최근에는 플라즈마중에서 화학반응을 할 수 있도록하여 금속 화합물을 증착시킴. |
반응물질을 가스상태로 공급하고 고온으로 가열시키면 금속 화합물이 형성되며 피처리재에 증착되면서 코팅이 됨. |
열처리 |
고온에서 코팅한 후 냉각과정에서 직접 열처리가 되므로 별도의 열처리가 필요없슴. |
PCVD처리 전에 열처리하되 반드시 고온Tempering을 해야 함. |
PVD처리 전에 열처리하되 반드시 고온Tempering을 해야 함. |
CVD후 재 열처리 함. |
장점 |
①코팅층의 밀착력이 우수. ②VC층의 마찰계수가 작으므로 윤활성 우수 ③별도의 열처리가 필요없슴. ④좁은 구멍에도 코팅이 가능함. |
①저온에서 처리되므로 변형이 없슴 ②처리공정에 소요되는 시간이 짧다. ③PVD보다 층의 밀착력이 우수. ④다양한 코팅층 제공. |
①저온에서 처리되므로 변형이 없슴 ②처리공정에 소요되는 시간이 짧다. ③ |
①코팅층의 밀착력이 우수 ②섬유 등에의 피복이 가능하다. ③층의 조직을 비정질,다결정질등으로 얻을 수 있다. |
단점 |
①변형이 있다. 따라서 정밀금형에는 적용이 곤란하다. ②처리시간이 길다. ③탄소를 함유한 금속에만 처리가 가능하다. |
①코팅층의 밀착력이 약함. ②고가의 진공설비가 필요. ③피처리물의 크기제한. ④좁은 구멍에는 코팅이 곤란함. |
①코팅층의 밀착력이 약함. ②고가의 진공설비가 필요. ③피처리물의 크기제한. ④좁은 구멍에는 코팅이 곤란함. |
①변형이 있다. 따라서 정밀금형에는 적용이 곤란하다. ②CVD 후 재열처리가 필요하다. ③처리시간이 길다. |
적용 |
①고하중 내마모가 필요한 프레스 금형. ②금형의 치수공차가 충분한 금형. ③단조금형 ④정밀을 요하지 않는 절삭공구. ⑤Roller류 |
①전자금형과 같이 정밀을 요하는 금형 ②단조금형 ③안경테,수지, 장신구류등 미관을 요하는 것. ④기타 우주항공용 등 적용범위 확대 |
①전자금형과 같이 정밀을 요하는 금형 ②단조금형 ③안경테,수지, 장신구류등 미관을 요하는 것. ④기타 우주항공용 등 적용범위 확대 |
①초경 바이트 등의 초경공구에 가장 많이 적용. ②내열 법랑 ③단조금형 ④절삭공구 |
출처 : 송사리 세상에서
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